Taiko大晃真空泵BEH-300
发布时间：2019.03.09
TAIKO螺杆式干式真空泵，是采用自主研发螺杆线性的干式真空泵，它低速转动连续排气，真空度可达到１０-1Pa，它可称为是划时代的干式真空泵。实现了极限真空度的极底泵浦转速.从吸气起到排气采用非接触单段压缩，其特点是可以快速地排除空气或煤气中所含有的粉尘雾粒，大量用于半导体，液晶，太阳能电池，医药，化工等真空行业。单级结构简单，易于保养和维修，在排除凝聚性气体，腐蚀性气体和反应生成物的半导体工艺中以及在硅单晶制造的抽真空等领域也发挥着威力。
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日本Taiko大晃干式螺杆真空泵
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Taiko大晃真空泵BEH-300
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